WHZ entwickelt Halbleiter-Messverfahren

Gemeinsam mit 26 europäischen Partnern erforschen Wissenschaftler der Westsächsische Hochschule Zwickau in den kommenden drei Jahren neue Methoden zur Charakterisierung, Fertigung, Qualitätssicherung und Entwicklung von Leistungshalbleitern der nächsten Generation. Geleitet wird das 55-Millionen Euro-Vorhaben mit dem Namen „eRamp“ von der Infineon Technologies AG. Die WHZ ist neben der TU Dresden die einzige deutsche Hochschule, die an diesem Projekt mitwirkt. Vertreten wird sie dabei durch die Arbeitsgruppe Optische Technologien des Leupold-Instituts für angewandte Naturwissenschaften der WHZ (LIAN). Die Mitarbeiter arbeiten dabei an der Entwicklung von neuen, hochauflösenden optischen Messverfahren zur geometrischen Oberflächencharakterisierung von Wafern. „Die Forschung mit den europäischen Technologieführern im Bereich Halbleiterindustrie bedeutet für uns einen Quantensprung. Sie eröffnet nicht nur völlig neue Möglichkeiten für die angewandte Forschung am Institut, sondern auch für die praxisorientierte Ausbildung von Ingenieuren“, erklärt Instituts- und Projektleiter Prof. Dr. Peter Hartmann.